Produkt |
liefernder Prozess |
Bedarf |
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Transport mit |
Länge |
Hauptinput |
Silizium |
Fabrik\Silizium-Wafer-mono-DE-2005 |
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Hilfsmaterial |
Wasser (Stoff) |
Xtra-generisch\Wasser |
1,51000*103 |
kg/kg |
Wasser (Stoff) |
Chem-anorg\destilliertes Wasser |
208,00000 |
kg/kg |
Phosphorpaste |
Chem-Anorg\Phosphorpaste-2005 |
2,1900*10-3 |
kg/kg |
Metallisierungspaste |
Chem-Anorg\Metallisierungspaste-2005 |
113,00*10-3 |
kg/kg |
EPS |
Kunststoff\EPS-DE-2005 |
614,00*10-6 |
kg/kg |
N2 (gasförmig) |
Xtra-generisch\N2 (gasförmig) |
2,7900000 |
kg/kg |
O2 (gasförmig) |
Xtra-generisch\O2 (gasförmig) |
153,00*10-3 |
kg/kg |
Argon |
Xtra-generisch\Argon-DE-2005 |
38,700*10-3 |
kg/kg |
NH3 |
Chem-Anorg\Ammoniak-DE-2005 |
10,100*10-3 |
kg/kg |
Silan (hochrein) |
Chem-Anorg\Silan (hochrein) |
1,8200*10-3 |
kg/kg |
CF4 (hochrein) |
Chem-Org\CF4 (hochrein) |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
C2F6 (hochrein) |
Chem-Org\C2F6 (hochrein) |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
NF3 (hochrein) |
Chem-Anorg\NF3 (hochrein)-2005 |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
SF6 (hochrein) |
Chem-Anorg\SF6 (hochrein) |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
NaOH |
Chem-Anorg\NaOH 50 %(Amal.)-DE-2000 |
472,00*10-3 |
kg/kg |
Essigsäure (hochrein) |
Chem-Org\Essigsäure (hochrein) |
4,2700*10-3 |
kg/kg |
HCl |
Xtra-Rest\HCl |
68,700*10-3 |
kg/kg |
Flußsäure (hochrein) |
Chem-Anorg\Flußsäure (hochrein) |
28,450*10-3 |
kg/kg |
Salpetersäure |
Chem-Anorg\Salpetersäure-2000 |
80,600*10-3 |
kg/kg |
POCl3 (hochrein) |
Chem-Anorg\POCl3 (hochrein) |
327,00*10-6 |
kg/kg |
Phosphorsäure |
Chem-Anorg\Phosphorsäure-DE-2000 |
11,500*10-3 |
kg/kg |
Natriumsilikat (hochrein) |
Chem-Anorg\Natriumsilikat (hochrein) |
113,00*10-3 |
kg/kg |
CaCl2 (hochrein) |
Chem-Anorg\CaCl2 (hochrein) |
32,500*10-3 |
kg/kg |
2-Propanol (hochrein) |
Chem-Org\2-Propanol (hochrein) |
119,00*10-3 |
kg/kg |
Ethanol (hochrein) |
Chem-Org\Ethanol (hochrein) |
963,00*10-6 |
kg/kg |
Hilfsenergie |
Elektrizität |
Netz-el-DE-Verteilung-MS-2005 |
56,900*10-3 |
MWh/kg |
Prozesswärme |
Gas-Kessel-DE-2005 (Endenergie) |
1,9900*10-3 |
MWh/kg |
Prozesswärme |
Öl-leicht-Kessel-DE-2005 (Endenergie) |
486,00*10-6 |
MWh/kg |
Hauptoutput |
Silizium |